臭氧，化學式為O3，又稱三氧、超氧，因其類似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，微溶于水，易分解。臭氧由氧分子攜帶一個氧原子，因此它只是一種暫存狀態(tài)，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣進入穩(wěn)定狀態(tài)，所以臭氧沒有二次污染。 [5]臭氧主要是由(NOx)和(二甲二硫s)經(jīng)過一系列復雜的光化學反應生成。

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